第一部分
1.一种生产硅铁、硅钙和单晶硅的原料的加工方法
2.单晶硅片表面氨基硅烷-稀土纳米薄膜的制备方法
3.单晶硅片表面磷酸基硅烷-稀土纳米薄膜的制备方法
4.单晶硅片表面自洁性二氧化钛纳米薄膜的制备方法
5.对称结构双级解耦单晶硅微机械陀螺仪
6.p型单晶硅片的表面处理方法
7.n型单晶硅片的表面处理方法
8.单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的制备方法
9.单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭加热器的制备方法
10.掺杂单晶硅硅化电熔丝及其形成方法
11.单晶硅拉制炉用热场炭/炭坩埚的制备方法
12. 单晶硅拉制炉用热场炭/炭导流筒的制备方法
13.单晶硅锭和硅片、及其生长装置和方法
第二部分
1. 单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法
2.单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法
3. 涂覆有金属电镀层的单晶硅基片和垂直磁记录介质
4. 直拉单晶硅用砷掺杂剂及其制造方法以及使用该掺杂剂的单晶硅的制造方法
5.单晶硅片表面自组装聚电解质-稀土纳米薄膜的制备方法
6. 单晶硅液晶显示面板的驱动系统与方法
7. 单一轴向排布的单晶硅纳米线阵列制备方法
8. 用于纳米光子技术的单晶硅纳米膜的制备方法
9. 单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土自润滑复合薄膜的方法
10. 单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法
11. 纳米晶硅/单晶硅异质结太阳能电池及其制备方法
12.单晶硅切方装置
13. 反射式单晶硅液晶面板以及使用此液晶面板的投影装置
第三部分
1.单晶硅膜的制造方法
2. 一种锌掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻
3. 具有均匀空位缺陷的单晶硅锭和晶片及其制备方法和设备
4. 单晶硅微机械加工的电容式麦克风及其制造方法
5. 一种单晶硅抛光片热处理工艺
第四部分
1. 单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法
2. 单晶硅及SOI基板、半导体装置及其制造方法、显示装置
3.平板单晶硅表面的改性方法
4. 硅片和生产单晶硅的方法
5. 单晶硅基片表面自组装稀土纳米膜的制备方法
6. 一种锰掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻
7.单晶硅的制造方法及单晶硅以及硅晶片
8. 单晶硅晶片及外延片以及单晶硅的制造方法
9.提拉单晶硅用石英玻璃坩埚和制造该坩埚的方法
10. 利用坩埚旋转以控制温度梯度的制备单晶硅的方法
11. 双面光照单晶硅太阳电池
第五部分
1.分离单晶硅埚底料中石英的工艺
2. 直径300mm及300mm以上的单晶硅晶片及其制造方法
3. 单晶硅片衬底的磁控溅射铁膜合成二硫化铁的制备方法
4. 一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器
5.一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器
6. 用于制备具有改善的栅氧化层完整性的单晶硅的方法
7. 单晶硅太阳能电池的表面结构及其制作方法
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